Очистка сверхчистой воды для электроники
Наш сайт Решения на основе сверхчистой воды (UPW) для электронной промышленности разработаны с учетом основной философии “максимальная очистка + стабильная подача”.”. Эти системы решают критически важную задачу контроля загрязнения, обеспечивая высокую чистоту воды для таких чувствительных производственных процессов, как очистка пластин, фотолитография и производство солнечных элементов..
Передовая технология очистки сверхчистой воды
Многоступенчатая очистка: Процесс включает в себя три ключевых этапа.
предварительная обработка использует мультимедийную фильтрацию, ультрафильтрацию UF и адсорбцию активированным углем для удаления взвешенных частиц и остаточного хлора.
очистка ядра с двухступенчатым обратным осмосом и электродеионизацией EDI удаляет более 99,9% ионов, достигая удельного сопротивления 18,25 MΩ-cm.
этап полировки Для достижения конечной чистоты используется смола со смешанным слоем, ультрафиолетовое окисление и конечная микрофильтрация.
Усовершенствованная система доставки: В системах используются трубопроводы из нержавеющей стали 316L и циркулирующий турбулентный поток для предотвращения застойных зон. Они также оснащены функцией онлайн-мониторинга таких параметров, как удельное сопротивление и растворенный кислород, для обеспечения постоянного качества..
Соответствие нормам и производительность для производства электроники
Соответствует строгим промышленным стандартам
Наши системы разработаны в соответствии со стандартами SEMI F63-0304 и GB/T 11446.1-2013 "Electronic Grade Water", что делает их пригодными для 14-нм и ниже техпроцессов.
Высокая стабильность
Стабильность непрерывной работы наших систем достигает 99,9%, а колебания качества воды ограничены ≤ ±0,5 MΩ-см.
Энергоэффективный дизайн
Системы отличаются пониженным энергопотреблением и увеличенным циклом регенерации.
Полная валидация процесса
Мы проводим комплексную проверку IQ/OQ/PQ и выдаем отчеты о соответствии требованиям SEMI.
Применение систем сверхчистой воды
Часто задаваемые вопросы
Сверхчистая вода - это вода, очищенная до чрезвычайно высокого уровня, из которой удалены практически все загрязняющие вещества. При производстве электроники крайне важно предотвратить загрязнение частицами, ионами и органическими веществами, которые могут повредить чувствительные компоненты и повлиять на качество продукции..
Система достигает высокой чистоты благодаря многоступенчатому процессу. Основные этапы включают двухступенчатый обратный осмос (RO) и электродеионизацию EDI, которые в совокупности удаляют более 99,9% всех ионов..
Соответствие стандартам SEMI означает соблюдение стандартов, установленных международной организацией Semiconductor Equipment and Materials International. Наши системы соответствуют стандарту SEMI F63-0304, что гарантирует пригодность сверхчистой воды для высокоточного производства..
Да, мы предлагаем проверку в лабораторных условиях и настройку системы для удовлетворения специфических требований к качеству воды в различных процессах.
Система рассчитана на непрерывную работу со стабильностью 99,9%. В нем также используется конструкция циркулирующего турбулентного потока, предотвращающая застой воды, и предусмотрен онлайн-мониторинг для отслеживания ключевых показателей.
Сочетание двухступенчатого обратного осмоса и EDI очень эффективно. Система обратного осмоса удаляет большую часть растворенных солей, что облегчает полировку воды устройством EDI. Это обеспечивает высокую эффективность удаления ионов и более длительные циклы регенерации, что снижает потребление энергии.
Свяжитесь с нами
Не позволяйте проблемам качества воды стоять на вашем пути. Генератор очищенной воды MoerWater поможет вам решить все проблемы с качеством воды, повысить эффективность работы и обеспечить наилучшие результаты исследований и экспериментов.
*Наша команда ответит на ваши запросы в течение 24 часов.
*Ваша информация будет строго конфиденциальна.