Tratamiento de agua ultrapura para la industria electrónica
Nuestro Soluciones de agua ultrapura (UPW) para la industria electrónica se han diseñado con una filosofía central de “purificación máxima + suministro estable”. Estos sistemas responden a la necesidad fundamental de controlar la contaminación, garantizando agua de alta pureza para procesos de fabricación delicados, como la limpieza de obleas, la fotolitografía y la producción de células solares.
Tecnología avanzada de tratamiento de agua ultrapura
Purificación en varias etapas: El proceso consta de tres etapas clave.
pretratamiento utiliza filtración multimedia, ultrafiltración (UF) y adsorción con carbón activado para eliminar los sólidos en suspensión y el cloro residual.
purificación del núcleo con un sistema de ósmosis inversa (RO) de dos etapas y desionización eléctrica (EDI) elimina más del 99,91 % de los iones, alcanzando una resistividad de 18,25 MΩ·cm.
etapa de pulido utiliza una resina de lecho mixto, oxidación por UV y microfiltración terminal para alcanzar la pureza final.
Sistema de entrega avanzado: Los sistemas utilizan tuberías de acero inoxidable 316L y un diseño de flujo turbulento circulante para evitar zonas de estancamiento. Además, cuentan con un sistema de monitoreo en línea de parámetros como la resistividad y el oxígeno disuelto para garantizar una calidad constante.
Cumplimiento normativo y rendimiento en la fabricación de productos electrónicos
Cumple con los estrictos estándares del sector
Nuestros sistemas están diseñados para cumplir con las normas SEMI F63-0304 y GB/T 11446.1-2013 sobre "agua de grado electrónico", lo que los hace aptos para procesos de 14 nm y inferiores.
Alta estabilidad
La estabilidad de funcionamiento continuo de nuestros sistemas alcanza el 99,91 %, con fluctuaciones en la calidad del agua limitadas a ≤ ±0,5 MΩ·cm.
Diseño energéticamente eficiente
Estos sistemas se caracterizan por un menor consumo de energía y un ciclo de regeneración más prolongado.
Validación completa del proceso
Ofrecemos servicios integrales de validación IQ/OQ/PQ y emitimos informes de conformidad con las normas SEMI.
Aplicaciones de los sistemas de agua ultrapura
Preguntas frecuentes
El agua ultrapura es agua que ha sido purificada hasta alcanzar niveles extremadamente altos, de modo que se han eliminado casi todos los contaminantes. En la fabricación de productos electrónicos es fundamental evitar la contaminación por partículas, iones y materia orgánica que podrían dañar los componentes sensibles y afectar la calidad del producto.
El sistema alcanza un alto grado de pureza mediante un proceso de varias etapas. Las etapas clave incluyen la ósmosis inversa (RO) de dos etapas y la desionización eléctrica (EDI), que juntas eliminan más del 99,91 % de todos los iones.
El cumplimiento de las normas SEMI se refiere al cumplimiento de los estándares establecidos por la organización Semiconductor Equipment and Materials International. Nuestros sistemas cumplen con la norma SEMI F63-0304, lo que garantiza que el agua ultrapura sea apta para la fabricación de alta precisión.
Sí, ofrecemos validación a escala de laboratorio y personalización de sistemas para satisfacer los requisitos específicos de calidad del agua de los distintos procesos.
El sistema está diseñado para un funcionamiento continuo con una estabilidad del 99,91 %.. Además, utiliza un diseño de flujo turbulento circulante para evitar el estancamiento del agua e incluye un sistema de monitoreo en línea para hacer un seguimiento de los indicadores clave.
La combinación de ósmosis inversa (RO) de dos etapas y desionización electrolítica (EDI) es muy eficaz. La ósmosis inversa elimina la mayor parte de las sales disueltas, lo que facilita el tratamiento final del agua por parte de la unidad de EDI. Esto se traduce en una alta eficiencia en la eliminación de iones y en ciclos de regeneración más largos, lo que reduce el consumo de energía.
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