Traitement de l'eau ultra-pure pour l'électronique
Notre Solutions d'eau ultra-pure (UPW) pour l'industrie électronique sont conçus selon une philosophie de base “purification ultime + approvisionnement stable”. Ces systèmes répondent au besoin critique de contrôle de la contamination, garantissant une eau de haute pureté pour les processus de fabrication sensibles tels que le nettoyage des plaquettes, la photolithographie et la production de cellules solaires..
Technologie avancée de traitement de l'eau ultra-pure
Purification en plusieurs étapes: Le processus comprend trois étapes clés.
prétraitement utilise la filtration multi-média, l'ultrafiltration UF et l'adsorption sur charbon actif pour éliminer les solides en suspension et le chlore résiduel.
purification du noyau avec osmose inverse à deux étages et électrodéionisation EDI élimine plus de 99,9% d'ions, atteignant une résistivité de 18,25 MΩ-cm.
étape de polissage utilise une résine à lit mixte, une oxydation UV et une microfiltration terminale pour atteindre la pureté finale.
Système de livraison avancé: Les systèmes utilisent une tuyauterie en acier inoxydable 316L et une conception de flux turbulent circulant pour éviter les zones stagnantes.. Ils permettent également de contrôler en ligne des paramètres tels que la résistivité et l'oxygène dissous afin de garantir une qualité constante..
Conformité et performance pour la fabrication de produits électroniques
Répond aux normes strictes de l'industrie
Nos systèmes sont conçus pour répondre aux normes SEMI F63-0304 et GB/T 11446.1-2013 "Electronic Grade Water", ce qui les rend adaptés aux processus de 14 nm et moins.
Stabilité élevée
La stabilité du fonctionnement continu de nos systèmes atteint 99,9%, avec des fluctuations de la qualité de l'eau limitées à ≤ ±0,5 MΩ-cm.
Conception économe en énergie
Les systèmes se caractérisent par une consommation d'énergie réduite et un cycle de régénération prolongé.
Validation complète du processus
Nous fournissons une validation IQ/OQ/PQ complète et émettons des rapports de conformité SEMI.
Applications du système d'eau ultra-pure
Questions fréquemment posées
L'eau ultra-pure est une eau qui a été purifiée à des niveaux extrêmement élevés, presque tous les contaminants ayant été éliminés. Il est essentiel pour la fabrication de produits électroniques de prévenir la contamination par des particules, des ions et des matières organiques susceptibles d'endommager les composants sensibles et d'affecter la qualité du produit..
Le système permet d'obtenir une grande pureté grâce à un processus en plusieurs étapes. Les étapes clés comprennent l'osmose inverse (OI) à deux étages et l'électrodéionisation EDI, qui, ensemble, éliminent plus de 99,9% de tous les ions..
La conformité SEMI fait référence au respect des normes établies par l'organisation Semiconductor Equipment and Materials International. Nos systèmes sont conformes à la norme SEMI F63-0304, ce qui garantit que l'eau ultrapure est adaptée à la fabrication de haute précision..
Oui, nous proposons une validation à l'échelle du laboratoire et une personnalisation du système pour répondre aux exigences spécifiques de qualité de l'eau des différents processus..
Le système est conçu pour fonctionner en continu avec une stabilité de 99,9%.. Il utilise également un système de circulation à flux turbulent pour éviter la stagnation de l'eau et comprend une surveillance en ligne pour suivre les indicateurs clés..
La combinaison de l'OI à deux étages et de l'EDI est très efficace. L'OI élimine la majorité des sels dissous, ce qui facilite le polissage de l'eau par l'unité EDI. Cela permet d'obtenir une grande efficacité d'élimination des ions et des cycles de régénération plus longs, ce qui réduit la consommation d'énergie..
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